ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಪ್ರೋಬ್ ಮೈಕ್ರೋಅನಾಲಿಸಿಸ್ -ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನು‌ ಬಿಂಬಾಧಾರಿತ ವಸ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ – ಒಂದು ವಸ್ತುವಿನಲ್ಲಿ ಯಾವ ಯಾವ ಮೂಲವಸ್ತುಗಳಿವೆ ಎಂದು ಪತ್ತೆ ಹಚ್ಚಲು, ಆ ವಸ್ತುವಿನೊಳಗೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನು ಕಿರಣಪುಂಜವನ್ನು ಹರಿಸಿ, ಹೊರಬರುವಂತಹ ವಸ್ತುವಿಶಿಷ್ಟ ಕ್ಷಕಿರಣವನ್ನು ಅಳೆಯುವುದು.